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테스트베드 서비스

단위 공정 모듈 공정 웨이퍼 제작 시험 / 평가 / 실증

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Blanket Blanke _ Thermal Ox 구조
Wafer : 300mm

Blanke _ Thermal Ox

Blanket Blanke _ LPTEOS 구조
Wafer : 300mm

Blanke _ LPTEOS

Blanket Blanke _ LP Nit 구조
Wafer : 300mm

Blanke _ LP Nit

Blanket Blanke _ PETEOS 구조
Wafer : 300mm

Blanke _ PETEOS

Blanket Blanke _ Single Poly 구조
Wafer : 300mm

Blanke _ Single Poly

Blanket Blanke _ ALD TiN 구조
Wafer : 300mm

Blanke _ ALD TiN

Blanket Blanke _ W(Tungsten) 구조
Wafer : 300mm

Blanke _ W(Tungsten)

Blanket Blanke _ ACL(Carbon) 구조
Wafer : 300mm

Blanke _ ACL(Carbon)

Blanket Blanke _ High-k (HfO2,ZrO2,Al2O3,TiO2) 구조
Wafer : 300mm

Blanke _ High-k (HfO2,ZrO2,Al2O3,TiO2)

Blanket Blanke _ PR (Photo Resist) 구조
Wafer : 300mm

Blanke _ PR (Photo Resist)

Blanket Blanke _ ON Stack 구조
Wafer : 300mm

Blanke _ ON Stack

Pattern

장비이미지 준비중입니다

Wafer : 300mm

L/S_CD 40nm (on PETEOS)​

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