Blanket
Blanke _ PETEOS
300mm 실리콘 웨이퍼 위에 PETEOS 산화막을 증착하는 Blanket Wafer 제작 서비스입니다.제작 사양
- 웨이퍼 규격
- 300mm
- 기판
- Sub_Si
- 상부막
- PETEOS >1000Å
공정 및 장비
| 단계 | 공정 | 진행 장비 |
|---|---|---|
| 01 | FN Cleaning | NSM312 |
| 02 | PE-TEOS | GEMINI HQ('28) |
| 03 | TEOS Dep. SCR | NSM312 |
| 04 | Thickness Measurement | ATLAS_XP_PLUS |
| 05 | Particle Measurement | SP7XP |
유의사항
- TEOS Dep. SCR은 NANO Scan 방식으로 진행됩니다.